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| 產(chǎn)品信息 | |||
| 品質(zhì)保證/超長(cháng)質(zhì)保/運轉無(wú)憂(yōu) | |||
| 型號 Model | DSX_21_12 | 玻璃 Glass | 石英玻璃 Quartz glass |
| 冷卻方式 Cool method | 風(fēng)冷 Air cooled | 照射方向 Strahlrichtung | 由下往上照射 It shines from the top down |
| 發(fā)光體 luminous body | 365nm | 功率 Power | 2KW |
| 發(fā)光面積 ight area | $310mm | 照度 lluminance | 600mw/cm2 |
| 均勻度 Uniformity | 90% | 機臺電壓 Machine voltage | 220V |
產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆機身小巧，適合6/8/10/12寸芯片整片照射使用
◆時(shí)間和亮度可調，觸屏操作，簡(jiǎn)單方便
◆自下而上照射，方便放置晶圓
◆LED冷光源環(huán)保產(chǎn)品，具有溫度低、曝光均勻、結構緊湊、能耗小、是半導體行業(yè)的理想機型，且低溫對熱敏材料無(wú)損害
◆使用壽命比普通汞燈壽命長(cháng)10倍以上，連續使用壽命15000-30000H。
◆零維護成本，長(cháng)期工作無(wú)需更換照射光源零件
◆封閉式光源設計，無(wú)紫外線(xiàn)側漏，對人體無(wú)損傷
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