13823605006
產(chǎn)品信息 | |||
品質(zhì)保證/超長(cháng)質(zhì)保/運轉無(wú)憂(yōu) | |||
設備技術(shù)參數: | |||
名稱(chēng) | 晶圓擴膜機 | 型號 | DSXUV-WE8 |
設備尺寸 | L693*W445*692mm | 適應產(chǎn)品尺寸 | 晶圓3-8英寸 |
子母環(huán)大小 | 外環(huán):249mm,內環(huán):227mm | 功率 | <400W |
額定電壓 | AC 220V | 頻率 | 50/60HZ |
工作盤(pán)上升高 度/臺盤(pán)加熱 溫度 | 10-60mm/室溫0-80℃ (恒溫設計) | 氣壓 | 0.5-0.6Mpa |
膠膜類(lèi)型 | 藍膜、UV膜、PVC膜等等 | 膠膜厚度 | 0.05-0.2mm |
切膜方式 | 圓周刀自動(dòng)切膜 (因受圓周刀局限,臺面 需上升20mm后切割) | 擴膜功能 | 半自動(dòng)式/手動(dòng)控制 |
重量 | 大約60kg | 質(zhì)保期 | 全新產(chǎn)品,非人為損壞,整機 質(zhì)保一年 |
優(yōu)勢特點(diǎn):
1).擴膜的高度和速度可通過(guò)觸摸屏數字設定;
2).工作盤(pán)具有恒溫加熱功能,有助于膜的延展性;
3).調整工作盤(pán)上升的高度,即可調整經(jīng)理之間的間距;
4).選配上置圓切自動(dòng)割膜功能;
5)裝有氣彈簧,翻蓋省力功能;
6).7英寸觸摸屏,顯示參數,執行步驟,故障報警;
7).采用電機升降和進(jìn)口氣缸升降完成擴膜工序,保證擴膜的一致性;
8).采用進(jìn)口PLC做控制系統,可設定臺盤(pán)上升的預熱延時(shí),擴膜延時(shí)等功能,更好的提升
擴膜機設備工藝要求 | ||
序號 | 內容 | 參數 |
1 | 擴膜尺寸 | 可擴膜的最大范圍是小于或等于6寸晶圓 |
2 | 擴膜質(zhì)量 | 無(wú)崩膜,破膜,擴膜后,產(chǎn)品的圓心度誤差± 2mm以?xún)?/span> |
3 | 擴膜機的X、Y方向偏差 | 3毫米(排除貼膜時(shí),晶圓放置的偏差) |
4 | 擴膜環(huán)和貼片環(huán)可固定 | 裝有鐵環(huán)放置定位銷(xiāo) |
5 | 工作盤(pán)恒溫設計 | 膜周邊擴張均勻適度 |
6 | 參數 | 加熱溫度,擴張時(shí)間、回程速度均可調 |
7 | 特點(diǎn) | 工作盤(pán)升降過(guò)程中不會(huì )擠壓晶圓 |
技術(shù)服務(wù):
1).賣(mài)方免費指導、安裝調試、技術(shù)支持、培訓、維修;
2).設備安裝調試驗收完成后12個(gè)月內賣(mài)方負責一年內免費保修(包括正常使用下?lián)p壞的配件)
3).保修期滿(mǎn)后賣(mài)方仍負責技術(shù)支持,賣(mài)方有償提供零部件;
4).賣(mài)方提供電話(huà)咨詢(xún)維修服務(wù),及到廠(chǎng)緊急故障排除;
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